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      光學干涉測厚系統

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      光學干涉測厚系統
      光學干涉測厚系統
      詳情

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      納米級光學干涉測厚儀

      應用: PET、PE、PMMA等薄膜·離型膜·沉積膜·金屬表面漆膜涂層·膜涂層·塑料涂層

      產品簡介

      PSD-2000型在線納米級光學膜厚儀利用光譜相干測量學,用于測量半導體制造過程中的薄膜厚度,以及安裝在半導體制造設備上的APC和薄膜的質量控制,能夠測量單層/多層/涂布層在不透光基板上的厚度,精準度可達納米級。   

      PSD-2000型在線納米級光學膜厚儀,其核心部件主要源自于美國Ocean Optics有限公司,其微型光譜儀體積小巧,可對全譜進行快速采集,產品應用廣泛,可用于生化、光電、航空航天、環境保護、安全檢測、農業等行業,可進行 Low-E玻璃鍍膜檢測,ITO玻璃鍍膜檢測,PET涂布在線膜厚檢測,金屬表面涂層檢測,半導體,LCD膜厚檢測等。

                   

      工作原理: 分光干涉法

      當光入射到樣品內部,會發生多重反射現象,多重反射光會由于相互之間的相位差增強或減弱,而相位差取決于樣品的折射率和光程,因此來自于樣本的反射光譜與其厚度有直接關系。光譜干涉法就是利用這種獨特的光譜分析出樣品的厚度,該厚度測量儀器根據測試范圍的不同主要使用曲線擬合和FFT兩種方法對光譜進行分析。

       

               

       

      應用范圍:

       

      ?PET薄膜厚度測量

      ?涂層厚度測量,如HC,保護膜,光刻膠,OCA,離型膜等涂布厚度或克重的測量

      ?用于包裝的PET表面介質膜克重或膜厚測量

      ?金屬表面透明和半透明漆膜涂層

       

      產品優勢:

      在線掃描式或多點測量(多達15點)同時測量

      通過光強波動校正功能實現長時間穩定測量

      提醒及警報功能(通過或失敗)

      反射(透射)和光譜測量

      同步測量多層厚度

      高速、高準確度

       

       

      參數:

      型號

      PSD-2000W

      PSD-2000P

      PSD-2000R

      可測膜厚范圍

      15 nm - 100 um

      2nm - 200 um

      200nm-3000um

      測量可重復性

      0.02 μm

      測量準確

      ±1%

      光源

      鎢鹵素燈

      測量波長

      380 - 1050 nm

      250 - 1050 nm

      900 - 1200 nm

      光斑尺寸

      約φ1 mm

      工作距離

      10 mm

      可測層數

      最多10層

      分析

      FFT 分析,擬合分析

      測量時間

      19 ms/點

      外部控制功能

      Ethernet

      接口

      USB 2.0(主單元與電腦接口);RS-232C(光源與電腦接口)

      電源

      AC100 V — 240 V, 50 Hz/60 Hz

      功耗

      約330W(2通道)~450W(15通道)

       

       

      PSD-200實驗室型納米級光學干涉測厚儀    

      用途:

      ·太陽能減反膜玻璃,TCO玻璃,Low-E玻璃,ITO玻璃,光學玻璃鍍膜等測量。

      ·PET膜透明膠膜厚測量

      ·膜厚,顏色,粗糙度,透過率,反射率,霧度

      ·可用于實驗室離線測量

      技術水平:

      ·精度0.1%,達到國際同類產品水平

      ·檢測透明和半透明涂層

      ·反射式太陽能玻璃的膜厚/折射率測量儀,具有測量速度快,測量準確,操作簡便的特點。

       

       

       

      技術參數:

      產品類型

      可見光

      紫外+可見光

      厚度測量

      15nm-100μm

      1nm-100μm

      折射率

      厚度要求100nm以上

      厚度要求50nm以上

      準確性

      2nm或0.5%

      精度

      0.1nm

      測量時間

      小于1秒

      光斑大小

      大約1mm

       

       

      軟件:


      ·實時顯示反射率,透光率,膜厚(多層膜),顏色值和折射率;同時具有仿真功能

      ·支持多角度各種入射條件下的仿真和擬合

      ·在線/離線監控和歷史數據界面

      ·輸出至SQL服務器;小型內置式SQL

      ·可根據客戶要求定制界面

       

       


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